真空吸附卡盘
• 不锈钢卡盘台尺寸4",平整度5μm,带3个真空吸附孔
• 不锈钢卡盘台尺寸6"、8"、12",平整度5μm,带4个真空吸附孔
• 静音无油气泵,7 升 / 分钟,可连续工作
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恒温真空吸附卡盘
• 铝合金盘台尺寸4"、6"、8",平整度5μm。
• 带3-4个真空吸附孔
• 静音无油气泵,7 升 / 分钟,可连续工作
• 可通水或气体循环冷却
• 含加热功能,最高加热温度300摄氏度,控温精度±1度,显示精度0.1度,
有效区域内温度均衡性±5度。
• 可选配制冷功能,最低温度-130摄氏度(真空环境下)。
• 具备快速冷功能,配置水冷却接口,可连接冷水机实现快速降温的功能。
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